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1. Federal Standard 209E
Clean Room의 규격은 국가별 분야별로 다양해 졌지만 최초의 규격은 미국에서
제정된 미연방규격 209(The Federal Standard 209)이다
그 규격은 1993년에 개정된 Fed.Std.209E가 마지막으로 이규격은 2001년도에 폐지되었다
우리가 일반적으로 쓰는 규격입니다.
2. ISO 14644
Clean Room에 관한 각국의 기준을 제정함에 따라 국제적으로 표준화된 규격의 필요성이 제기되었다.
1999년 5월에 국제 표준화 기구에 의해 ISO 14644, Clean Room 및 Clean-Zone의 미립자- 청정도의 Class 분류가 발표되고
세계최초로 통일규격이 제정되었습니다.
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